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DUV- Lithografieobjektiv zur Mikrostrukturierung (Kongressschrift / Tagungsband) - Detailansicht

  • Funktionen:

Grunddaten

Titel der Arbeit (title) DUV- Lithografieobjektiv zur Mikrostrukturierung
Erscheinungsjahr 2013
Serie (series) DGaO-Proceedings
Publikationsart Kongressschrift / Tagungsband

Zugeordnete Projekte

Wissenschaftliche Veröffentlichungen

Beteiligte Personen (intern)

 
 
Pfeffer, Michael, Professor Dr. sc. techn.  

Einrichtung

Bachelorstudiengang Physical Engineering (Technik Entwicklung)
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