Inhalt
| Inhalt |
Technologien und Materialien der Mikroelektronik, Mikrooptik und Mikromechanik;
mikromechanische und mikrooptische Sensoren und Aktoren;
Mikrosysteme
Physikalische Eigenschaften kristalliner Halbleiter: Bänderstruktur, optische Emission und Absorption.
Physikalische Wirkungsweise optoelektronischer Bauelemente: Fotoleiter, Fotodioden, Fototransistoren, Leuchtdioden, Laserdioden, Optokopppler.
Aufbau und Dimensionierung optischer Sende- und Empfangseinheiten. |
| Literatur |
Menz, Mikrosystemtechnik für Ingenieure, VCH
Büttgenbach, Mikromechanik, Teubner
Winstel,Optoelektronik I u. II, Springer |
| Lernziele |
Vermittlung der Fertigungsverfahren der Mikrosystemtechnik (Mikroelektronik/Mikromechanik). Vermittlung und Vertiefung von Aufbau und Funktionsweise mikromechanischer Komponenten.
Aufbau und Funktion optischer Sender und Empfänger. |
| Leistungsnachweis |
Unbenotete Prüfungsleistung: --- .
Benotete Prüfungsleistung: Klausur, 90 Minuten. |
